337P日本欧洲亚洲大胆精品

<acronym id="aquyk"><center id="aquyk"></center></acronym>
<acronym id="aquyk"><center id="aquyk"></center></acronym>
產品類別
技術支持

無塵車間生產對于濕度有什么要求?

發布時間:2018-10-19  閱讀:372次
濕度操控是無塵車間生產必需具有的重要條件,相對濕度是無塵車間、潔凈室運作進程中一個常用的環境操控條件。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約操控在30至50%的規模內,答應誤差在±1%的狹隘的規模內,例如光刻區或許在遠紫外線處理(DUV)區乃至更小而在其他地方則能夠放松到±5%的規模內。
近年,在這些規則規模中保持處理空氣進程,使我們必需承當資金和運營成本??墒菫槭裁粗档没ㄙM這么多錢用在無塵車間、潔凈室中操控相對濕度呢?道理很簡單!因為相對濕度有一系列可能使潔凈室整體體現下降的要素,其間包含:
1、細菌生長;
2、工作人員感到室溫舒適的規模;
3、出現靜電荷;
4、金屬腐蝕;
5、水汽冷凝;
6、光刻的退化;
7、吸水性。
細菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨蟲)在相對濕度超越60%的環境中能夠活潑地繁衍。一些菌群在相對濕度超越30%時就能夠增加。在相對濕度處于40%至60%的規模之間時,能夠使細菌的影響以及呼吸道感染降至“”。
相對濕度在40%至60%的規模相同也是人類感覺舒適的適度規模。濕度過高會使人覺得氣悶,而濕度低于30%則會讓人感覺枯燥,皮膚決裂,呼吸道不適以及情感上的不快。
高濕度實際上減小了無塵車間、潔凈室外表的靜電荷堆集──這是我們期望的成果。較低的濕度比較合適電荷的堆集并成為潛在的具有破壞性的靜電開釋源。當相對濕度超越50%時,靜電荷開端敏捷消散,可是當相對濕度小于30%時,它們能夠在絕緣體或許未接地的外表上繼續存在很長一段時刻。
相對濕度在35%到40%之間能夠作為一個令人滿意的折中,半導體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的操控設備以約束靜電荷的堆集。
很多化學反響的速度,包含腐蝕進程,將跟著相對濕度的增高而加快。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時,高濕度能夠使反響加快。幸運的是,一些金屬,例如鋁,能夠與水構成一層維護型的氧化物,并阻撓進一步的氧化反響;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有維護才能的,因此,在高濕度的環境中,銅制外表更簡單遭到腐蝕。
當相對濕度在70%左右時,就成為顆粒之間黏附的主要力氣。
到目前為止,在半導體無塵車間、潔凈室中最迫切需要恰當操控的是光刻膠的靈敏性。因為光刻膠對相對濕度極為靈敏的特性,它對相對濕度的操控規模的要求是最嚴厲的水準。
實際上,相對濕度和溫度關于光刻膠穩定性以及準確的尺度操控都是很關鍵的。乃至是在恒溫條件下,光刻膠的粘性將跟著相對濕度的上升而敏捷下降。當然,改動粘性,就會改動由固定組分涂層構成的維護膜的厚度。參閱兩個城市,一個實驗證明,相對濕度的3%的變異將使維護厚度改動59.2A(原文如此)。
此外,在高的相對濕度環境下,因為水分的吸收,使烘烤循環后光刻膠膨脹加劇。光刻膠附著力相同也能夠遭到較高的相對濕度的負面影響;較低的相對濕度(約30%)使光刻膠附著更加簡單,乃至不需要聚合改性劑,如六甲基二硅氮烷(HMDS)。
總而言之半導體無塵車間、潔凈室中操控相對濕度不是隨意的??墒?,跟著時刻的改變,最好回憶一下常見的被遍及承受的實踐的原因和基礎。
友情鏈接: 桂林黃頁 | 桂林山水網 | 海軍科技 | 中國農網
原桂林空調機廠,廣西除濕機,桂林除濕機提供先特恒溫恒濕機,先特除濕機,桂翔空調公司等,桂翔空調商鋪
新銳先特 版權所有 2018-2019 
版權所有 (c) 桂林新銳先特科技發展有限公司 備案:桂ICP備18009984號-1 技術支持:快特網絡
QQ客服
337P日本欧洲亚洲大胆精品
<acronym id="aquyk"><center id="aquyk"></center></acronym>
<acronym id="aquyk"><center id="aquyk"></center></acronym>